Được đề cập đến như là chủ đề của "triết học đầu tiên", thuật ngữ "metaphysics" (siêu hình học trong tiếng Anh) được tin là đã bắt nguồn từ những công trình của Aristotle. Người biên tập những tài liệu này, Andronicus của Rhodes, đã đặt những cuốn sách về triết học đầu tiên ngay sau một tác phẩm khác có tên "Physics" và đã gọi những quyển sách này là τὰ μετὰ τὰ φυσικά βιβλια (ta meta ta physika biblia) hay là "những quyển sách đặt sau sách "Physics". Tuy nhiên, những nhà bình giải Latin đã hiểu nhầm điều này thành "môn khoa học siêu nhiên". Trong Anh ngữ, từ "metaphysics" đến từ ngôn ngữ Latin Trung Cổ metaphysica hoặc dạng số nhiều, giống trung trong tiếng Hy Lạp Trung Cổ metaphysika..[2] Trong khi cho nguồn gốc Latin và Hy Lạp của từ này khá rõ ràng, nhiều tự điển cho rằng sự xuất hiện đầu tiên của nó trong tiếng Anh bắt nguồn vào giữa thế kỷ XVI, đôi lúc còn sớm hơn (năm 1387).[2][3]

Trong triết học Trung Quốc, siêu hình học được gọi là hình nhi thượng học.